电子探针（电子探针仪与扫描电子显微镜有何异同）

(六)电子探针

1、电子探针的应用电子探针测定地质体的年龄前电子探针测试技术，只有用U，Th，Pb对锆石、独居石的测年发展的较为成熟。研究表明，电子探针测定的化学年龄均在传统的同位素法测定年龄的范围之内，尤其是较古老的地质体，其测试精度高。

2、定点分析：对样品表面选定微区作定点的全谱扫描，进行定性或半定量分析，并对其所含元素的质量分数进行定量分析。例如，定点分析合金沉淀相和夹杂物的成分，以对其进行鉴定；定点分析微细新物相的化学成分等。线扫描分析：电子束沿样品表面选定的直线轨迹扫描，进行所含元素质量分数的定性或半定量分析。

3、电子束X射线微区分析（electron beam X-ray microanalysis），简称X射线微区分析，它是利用高能量的电子束入射在固体样品表面，激发出特征X射线，从而测定样品微区元素成分的一种分析方法。目前在X射线微区分析中使用较广的是电子探针和X射线能谱仪。

4、近年来，对某些矿物的电子探针综合分析研究有了比较深入的开展，如对锆石、独居石、磷钇矿、金红石等矿物的研究。锆石是各种岩浆岩、变质岩以及沉积岩中常见的副矿物，由于这些副矿物富含有放射性元素U、Th，它们是U-Pb同位素测年方法中的主要测量对象。

5、在1000号语句输入电子探针分析值，即1000DATA428，17，35，0.07，139，39，0.23，80，0，150。

6、这个问题好像有点矛盾。电子探针EPMA--是一种电子光学仪器，原理和扫描电镜相同，设计取向不是高分辨，主要是微区化学成分高精度分析，标配wds，eds，电子束束流大而且稳定度高，（达到万分之几的稳定度/小时），样品台精密度高，一般是自动样品台，样品室有换样隔离气室，因而造价极高。

电子探针包括

电子探针的构成除了与扫描电镜结构相似的主机系统以外，还主要包括分光系统、检测系统等部分。电子探针主要由电子光学系统（镜筒），X射线谱仪和信息记录显示系统组成。电子探针和扫描电镜在电子光学系统的构造基本相同，它们常常组合成单一的仪器。

中文名：电子探针外文名：Electron Microprobe别名：微区X射线光谱分析仪电子探针是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器，可以用来分析薄片中矿物微区的化学组成。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外，还有U元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。

电子探针仪（图1）主要包括：探针形成系统 (电子枪、加速和聚焦部件等)、X射线信号检测系统和显示、记录系统、样品室、高压电源和扫描系统以及真空系统。

电子探针常规的化学成分分析技术，包括X射线能谱定量分析技术等，可以方便快速地分析鉴定锆石中各种类型的包体及其成分特征，这些包体的不同组合和成分特征，正是探讨锆石成因的重要依据。

电子探针(Electron Micro-probe) 电子探针主要用于定量或定性地分析宝石矿物的微区成分、近表面的宝石包裹体的成分、观察宝石表面形貌及结构特征。仪器组成和基本原理电子探针一般由电子枪、电子透镜、样品室、信号检测、显示系统及真空系统等组成。

电子探针仪中两种常见的谱仪布置形式为

电子探针仪中两种常见的谱仪布置形式为如下：电子探针是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器可以用来分析薄片中矿物微区的化学组成。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外，还有U元素以后的元素以外都可进行定性和定量分析。

电子探针X射线微区分析技术主要有两种方法：EDS（电子能量色散谱仪）和WDS（波长色散谱仪）。WDS工作原理：电子束入射样品表面，激发的X射线在纳米量级的作用体积内产生，不同元素的特征X线以点光源形式散射。通过平面分光晶体进行衍射，当满足特定条件时，特定波长的X射线会被聚焦。

能量分散谱仪（EDS）的卓越性能 EDS则利用X射线能量差异来解析成分，Si(Li)检测器是其核心元件，能精确捕捉光子能量。电子—空穴对的产生数量与入射光子能量成正比，通过多道脉冲分析器，形成能量色散谱，揭示元素的精确含量。

X射线谱仪是电子探针的信号检测系统，分为：能量分散谱仪（EDS），简称能谱仪，用来测定X射线特征能量。波长分散谱仪（WDS），简称波谱仪，用来测定特征X射线波长。WDS组成：波谱仪主要由分光晶体和X射线检测系统组成。

电子探针EPMA

前沿科技的结晶——电子探针X射线显微分析仪电子探针显微分析仪（EPMA），作为现代科学技术的瑰宝，是电子显微镜与X射线光谱分析的完美结合，自1949年法国开创性样机以来，它的发展史便是一部科技突破的编年史。

电子探针的核心功能在于微区成分分析，通过聚焦电子束与样品表面的互动，激发元素特征X射线，进而实现定性和定量的分析。电子探针仪器的构造巧妙结合了扫描电子显微镜（SEM）的镜筒，但关键在于其检测器部分，专门用于捕获X射线的特征波长或能量，从而进行化学成分的分析。

电子探针，即Electron Probe Microanalysis (EPMA)，是一种利用电子光学和X射线光谱学原理进行高效率微区成分分析的仪器。其核心工作原理是通过细聚焦的电子束照射样品表面，激发样品元素产生特征的X射线。这些特征X射线的波长或能量，揭示了元素的种类；而X射线的强度则反映了元素的含量。